在线三轨真空等离子处理设备
三轨道真空处理系统，兼顾高产能与高清洁度。针对半导体引线框架、精密接插件等对表面洁净度要求极高的元器件，真空环境可彻底去除纳米级污染物，同时激发材料表面活性。轨道独立温控，适应不同基材。
产品优势：
· 在线式连续处理结构，可直接对接前端产线，实现物料的全流程自动化传输与处理，无需人工转运
· 3 轨道独立处理设计，可灵活调整处理节奏，适配产线的不同产能需求，处理效率高
· 真空射频等离子技术，等离子体活性强，处理效果均匀，可实现全表面无死角处理
· 三重控制系统，运行稳定可靠，操作简单，支持远程监控与产线联动，适配无人化生产
基础参数
| 设备型号 | GET-VPO-1 6L-C |
| 设备功率 | 380V/AC,50/60Hz ,3kw |
| 射频电源功率 | 600W/ 1 000W/ 1 3.56MHz |
| 容量 | 16L(可定制） |
| 轨道数量 | 3轨道(可定制） |
| 电源 | – |