
弹夹式五轨真空等离子清洗设备
五轨道弹夹自动供料 + 真空等离子处理,专为小型精密部件的大批量清洗而设计。单次处理工件数量多,轨道间均匀性优秀。设备可实现每小时1000~2500片(视工件尺寸)的处理效率,大幅降低人工干预。
产品优势:
· 弹夹式上料 + 5 轨道独立处理结构,可灵活适配多品类小批量物料的处理,换装快速,无需停机调整
· 13.56MHz 高频射频等离子激发,等离子体密度高,对微小器件的缝隙、死角处理效果更优
· 16L 标准腔体容量,可定制更大容积,适配不同尺寸物料的批量处理需求
· 双极旋片真空泵组,抽速快,真空度稳定,确保处理工艺的一致性与稳定性
基础参数
| 设备型号 | CY-CY2B2601012-01 |
| 功率 | 380V/AC,50/60Hz ,3kw |
| 射频电源功率 | 600W/ 13.56MHz |
| 容量 | 16L(可定制) |
| 轨道数量 | 5轨道(可定制) |
| 气体通道 | CDA、O2、AR、N2 |
